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前言

中華人民共和國國家標準電子工業潔凈廠房設計規范Codefordesignofelectronicindustr......

1、總則

1總則1.0.1為在電子工業潔凈廠房設計中，做到技術先進、經濟適用、安全可靠、節約資源、降低能耗、確保質量，并......

2、術語

2術語2.0.1潔凈室cleanroom空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留粒......

3、電子產品生產環境設計要求

3電子產品生產環境設計要求3.1一般規定3.1.1電子工業潔凈廠房生產環境的設計應根據生產工藝的要求控制微粒和......

4、總體設計

4總體設計4.1位置選擇和總平面布置4.1.1潔凈廠房位置的選擇，應根據下列要求經技術經濟比較后確定：1應布置......

5、工藝設計

5工藝設計5.1一般規定5.1.1潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應為電子產品發展以及產品生產工藝改造和擴大生產預......

5、工藝設計

5工藝設計5．1一般規定5．1．1潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應為電子產品發展以及產品生產工藝改造和擴大生產預......

6、潔凈建筑設計

6潔凈建筑設計6.1一般規定6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應根據電子產品發展以及生產工藝改造和擴大生......

7、空氣凈化和空調通風設計

7空氣凈化和空調通風設計7.1一般規定7.1.1潔凈廠房內各潔凈室(區)的空氣潔凈度等級，應根據電子產品生產工......

8、給水排水設計

8給水排水設計8.1一般規定8.1.1潔凈廠房的給水排水干管應敷設在技術夾層或技術夾道內，并宜敷設在通行的技術......

9、純水供應

9純水供應9.1一般規定9.1.1電子產品生產用純水系統的選擇，應根據原水水質和產品生產工藝對水質的要求，并結......

10、氣體供應

10氣體供應10.1一般規定10.1.1潔凈廠房內應根據生產的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓......