附錄A 潔凈室或潔凈區性能測試和認證

　　A.1 通則

　　A.2 潔凈室或潔凈區性能測試要求

　　A.3 潔凈室主要測試方法

　　A.4 監測

　　A.5 認證

　　A.1 通則

　　A.1.1 潔凈室或潔凈區應監測或定期進行性能測試，以認證該潔凈室或潔凈區始終符合本規范的要求。

　　A.1.2 潔凈室或潔凈區性能測試認證工作應由專門檢測認證單位承擔，并提交檢測報告。

　　A.1.3 測試和認證工作之前，系統應達到穩定運行。測試和監測儀表應在標定證書有效使用期內。

　　條文說明

　　A.1 通則

　　本附錄編寫的指導思想是與國際接軌，依據國際標準《潔凈室及相關受控環境》ISO 14644、《生物污染控制》ISO 14698等的內容進行編制。

　　A.1.1 潔凈室或潔凈區在設計、施工驗收后，應進行綜合性能評價。潔凈室交付使用后，由于潔凈室維護管理不當，潔凈室工作人員誤操作和凈化空調系統長期運行使空氣過濾器性能變化，潔凈室周圍環境的突發事件如沙塵暴等，以及潔凈室工藝變化諸因素均會影響潔凈室綜合性能，因而潔凈室經常監測或定期的性能測試是必要的，以證實潔凈室或潔凈區的性能符合本規范的要求。

　　A.2 潔凈室或潔凈區性能測試要求

　　A.2.1 潔凈室或潔凈區應進行下列三項測試：

　　1 空氣潔凈度測試。生物潔凈室應進行浮游菌、沉降菌測試。

　　2 靜壓差測試。

　　3 風速或風量測試。

　　A.2.2 潔凈室或潔凈區的三項測試應符合下列規定：

　　1 空氣潔凈度測試應符合表A.2.2-1的規定。

　　表A.2.2-1 空氣潔凈度測試

　　2 靜壓差、風速或風量測試應符合表A.2.2-2的規定。

　　表A.2.2-2 靜壓差、風速或風量測試

　　A.2.3 當潔凈室或潔凈區已對粒子濃度、風速或風量、靜壓差執行連續監測，并且其測試值均符合本規范要求，則認證的測試時間間隔可延長。具體間隔時間可與認證單位洽商，并應符合下列規定：

　　1 空氣潔凈度等級認證可進行靜態或動態檢測，應洽商確定。

　　2 風量測定采用風速計在風口或風管測定。

　　A.2.4 潔凈室或潔凈區洽商選擇的測試要求應符合表A.2.4的規定。

　　表A.2.4 潔凈室或潔凈區洽商選擇的測試

　　條文說明

　　A.2 潔凈室或潔凈區性能測試要求

　　A.2.1、A.2.2 這兩條等同采用國際標準《潔凈室及相關受控環境第2部分：證明持續符合ISO 14644-1的檢測和監測技術》ISO 14644-2的相關內容。

　　最長測試時間間隔是根據近年來我國一些合資企業的內部質量管理條款以及ISO 14644-2的空氣潔凈度認證測試要求而編制的。

　　A.3 潔凈室主要測試方法

　　A.3.1 風量或風速測試應符合下列規定：

　　1 對于單向流潔凈室，采用室截面平均風速和截面乘積的方法確定送風量，測點位于高效過濾器出風面約150mm～300mm,垂直氣流處的截面作為采樣截面，截面上測點間距不宜大于0.6m，測點數不應少于4點，所有讀數的算術平均值作為平均風速。

　　2 對于非單向流潔凈室，采用風口或風管法確定送風量，可按現行國家標準《通風與空調工程施工質量驗收規范》GB 50243規定的方法執行。

　　A.3.2 靜壓差測試應符合下列規定：

　　1 靜壓差的測定應在潔凈室(區)的風速、風量和送風均勻性檢測合格后進行，并應在所有的門關閉時檢測。

　　2 儀器宜采用各種微差壓力計，儀表靈敏度應小于1.0Pa。

　　A.3.3 已安裝過濾器檢漏測試應符合下列規定：

　　1 檢漏方法有光度計法和粒子計數器法。

　　2 在過濾器上風側應引入測試用氣溶膠，在過濾器下風側用光度計或粒子計數器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面2cm～3cm處，以5mm/s～15mm/s的掃描速度移動，并應注意安裝交接處的掃描。

　　A.3.4 密閉性測試應用于確認有無被污染的空氣從相鄰潔凈室(區)或非潔凈室(區)通過吊頂、隔墻等表面或門、窗滲漏入潔凈室(區)。一般適用于1級至5級的潔凈室(區)進行測試。采用光度計法和粒子計數器法進行測試。

　　A.3.5 潔凈度的檢測應符合下列規定：

　　1 使用采樣量大于1L/min的光學粒子計數器，在儀器選用時應考慮粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數效率。儀器應有有效的標定合格證書。

　　2 最少采樣點數應按下式計算：

　　NL=A0.5 (A.3.5-1)

　　式中：NL——最少采樣點;

　　A——潔凈室或被控潔凈區的面積(m2)。

　　3 采樣點應均勻分布于潔凈室或潔凈區的整個面積內，并位于工作活動的高度，活動高度宜距地面0.8m;每個采樣點的最小采樣時間為1min。

　　4 每一采樣點的每次采樣量應至少為2L，采樣量應按下式計算：

　　式中：VS——每個采樣點的每次采樣量，以L表示;當VS很大時，可使用順序采樣法;

　　Cn·m——被測潔凈室空氣潔凈度等級的被測粒徑的限值(pc/m3);

　　20——在規定被測粒徑粒子的空氣潔凈度等級限值時，可測到的粒子顆數(pc)。

　　5 當潔凈室或潔凈區僅有一個采樣點時，則在該點應至少采樣3次。

　　A.3.6 對超出等級范圍粒子的檢測應符合下列規定：

　　1 在產品生產工藝有要求時，可按等級粒徑范圍之外的粒子濃度規定空氣潔凈度的水平。此類粒子的最大允許濃度和檢測方法應由客戶與建造商協商確定。

　　2 當需評價小于0.1μm的粒子造成的污染危險時，應采用符合這類粒子具體特性的采樣方法和裝置;可獨立應用U描述符說明超微粒子濃度，也可將它作為懸浮粒子空氣潔凈度等級的補充說明。

　　U描述符用“U(χ，y)”表示，其中χ為超微粒子的最大允許濃度(pc/m3)，y為以微米計的粒徑。

　　例如：粒徑范圍等于或大于0.O1μm的最大允許超微粒子的濃度為140 000個/m3，應表示為“U(140 000，0.O1μm)”。

　　3 當需評價大于5μm的粒子造成的污染危險時，應采用符合這類粒子具體特性的采樣裝置和方法。可獨立應用M描述符說明大于5μm的粒子濃度，也可將它作為懸浮粒子空氣潔凈度等級的補充說明。

　　M描述符用“M(a，b);c”表示，其中a為大粒子的最大允許濃度(pc/m3)，b為與規定的大粒子測量方法相應的當量直徑(μm)，c為規定的測量方法。

　　例如：采用顯微鏡對多級撞擊采樣器采集的粒子進行檢測，測量得到10μm～20μm粒徑范圍的懸浮粒子濃度為1000個/m3，則用M描述符表示為“M(1OOO;1Oμm～20μm);多級撞擊采樣器以顯微鏡測定粒徑并計數”。

　　條文說明

　　A.3 潔凈室測試方法

　　近年來，國際標準組織(ISO)的ISO/TC209技術委員會相繼制定了“潔凈室及相關受控環境”的系列標準，與本規范有關的有《潔凈室及相關受控環境 第1部分：空氣潔凈度分級》ISO 14644-1，《潔凈室及相關受控環境 第2部分：證明持續符合ISO 14644-1的檢測和監測技術條件》IS0 14644-2，《潔凈室及相關受控環境 第3部分：檢測方法》ISO 14644-3，《潔凈室及相關受控環境 第4部分：設計、施工和啟動》ISO 14644-4等。國內制定的國家標準《潔凈廠房施工及質量驗收規范》GB 50929中對潔凈室(區)的各項檢測方法均有明確的要求和規定，所以本節參照相關國內外的標準對潔凈室測試方法進行了相應的修改、補充。

　　A.4 監測

　　A.4.1 按照雙方協議書的規定進行空氣中懸浮粒子濃度和其他參數的監測。

　　A.4.2 雙方協議書中應明確測量空氣懸浮粒子濃度最少采樣點、每次最少的空氣采樣量、采樣時間、每個采樣點的測量次數、測量時間間隔、被計數粒子的粒徑，以及粒子數的限值。

　　A.4.3 當監測結果超過規定的限值時，則應認定設施不符合要求，應進行修正;修正后應再進行認證檢測。當監測結果在規定限值內，可繼續監測。

　　A.5 認證

　　A.5.1 按雙方協議書的規定及第A.2節的要求，按第A.3節的方法進行測試，當測試結果在規定的限值之內時，可認定該潔凈室符合規定要求。當測試結果超過規定的限值，可認定該潔凈室不符合要求，應進行改進，在完成改進工作之后，應進行再認證。

　　A.5.2 記錄數據評價應符合下列規定：

　　1 在空氣潔凈度測試中，當測點在1點～10點時，應計算平均中值、標準偏差、標準誤差和由全部采樣點的平均粒子濃度導出95%置信上限值。

　　2 當采樣點超過10點時，應計算算術平均值，并按算術平均值進行空氣潔凈度等級的評價。

　　A.5.3 每次性能測試或再認證測試應做記錄，并應提交性能合格或不合格的綜合報告。測試報告應包括下列內容：

　　1 測試機構的名稱、地址。

　　2 測試日期和測試者簽名。

　　3 執行標準的編號及標準出版日期。

　　4 被測試的潔凈室或潔凈區的地址、采樣點的特定編號及坐標圖。

　　5 被測潔凈室或潔凈區的空氣潔凈度等級、被測粒徑、被測潔凈室所處的狀態、氣流流型和靜壓差。

　　6 測量用的儀器編號和標定證書，測試方法細則及測試中的特殊情況。

　　7 測試結果包括在全部采樣點坐標圖上注明所測的粒子濃度或沉降菌、浮游菌的菌落數。

　　8 對異常測試值進行說明及數據處理。

　　9 注明上次的測試日期。

　　10 設施的測試文件可作為下次監測計劃的依據。

　　A.5.4 測試機構應提交潔凈室檢驗證書、再檢驗證書。